Компания Шэньян Звездный свет Передовой Керамика успешно поставляет 8-дюймовые трехстоечные лодочки из карбида кремния для обработки полупроводниковых пластин

Компания Шэньян Звездный свет Передовой Керамика Ко., ООО., ведущий производитель изделий из карбида кремния с более чем 30-летним опытом работы в отрасли, недавно достигла важного результата, успешно разработав и поставив специализированные 8-дюймовые трехстоечные лодочки из карбида кремния для термической обработки полупроводниковых пластин.

Прорыв в технологии обработки пластин

Недавно разработанный 8-дюймовыйкарбид кремнияТрехстоечные лодочки представляют собой значительный шаг вперед в технологии обработки пластин и специально разработаны для:

• Высокотемпературная обработка полупроводниковых пластин диаметром 200 мм

• Равномерное распределение тепла на критических этапах производства

• Снижение риска загрязнения в чистых помещениях

Техническое Превосходство

Эти точно спроектированные лодки имеют следующие особенности:

• Сверхвысокая чистотакарбид кремнияматериал (чистота 99,99%)

• Оптимизированная трехштыревая конструкция для минимального контакта пластин

• Исключительная стойкость к тепловому удару (выдерживает резкие перепады температур до 1400°C)

• Превосходная химическая инертность по отношению к агрессивным технологическим газам

Удовлетворение потребностей отрасли

"Наш 8-дюймовыйкарбид кремния«Трехстоечные лодки отвечают растущей потребности полупроводниковой промышленности в надежных, высокопроизводительных держателях пластин», — сказал доктор Ли, главный технический директор. «Они обладают значительными преимуществами по сравнению с традиционными кварцевыми держателями, включая более длительный срок службы и лучшую термическую стабильность».

Строгий процесс разработки

Разработка продукта включала:

• 18 месяцев интенсивных исследований и разработок

• Сотрудничество с ведущими производителями полупроводников

• Более 200 испытаний на термоциклирование

• Строгие меры контроля загрязнения частицами

Гарантия качества

Каждая единица проходит:

• Проверка точности размеров (допуск ±0,02 мм)

• Проверка шероховатости поверхности (Ра < 0,2 мкм)

• Комплексный визуальный осмотр

• Окончательная очистка и упаковка в чистом помещении класса 100

Приложения

В настоящее время лодки используются для:

• Диффузионные процессы

• Отжиговые обработки

• Окислительные процессы

• Приложения для сердечно-сосудистых заболеваний

Будущие разработки

Развивая этот успех, Шэньян Звездный свет сейчас разрабатывает:

• 12-дюймовая версия для пластин нового поколения

• Индивидуальные конструкции для конкретных технологических требований

• Современные покрытия для специализированных применений

Приверженность компании

"Как компания с тридцатилетним опытом работы в области керамики, мы по-прежнему стремимся расширять границы технологий полупроводниковых материалов, дддххх добавил д-р Ли. "hЭтот запуск продукта демонстрирует нашу способность разрабатывать решения, которые отвечают самым высоким требованиям отрасли. дддххх