Шэньян Звездный свет Передовой Керамика: 30-летнее наследие пионера в переходе от карбида кремния к передовым технологиям в области полупроводников

Компания Шэньян Звездный свет Передовой Керамика Ко., ООО., пионер в производстве карбида кремния с тридцатилетним опытом, стратегически переходит от традиционного производства печных приспособлений к решениям полупроводникового уровня. Используя свои глубокие технические знания и глобальные возможности цепочки поставок, компания готова вывести точность на новый уровень.карбид кремниякомпоненты для производства микросхем следующего поколения.

От печи до чипа: стратегическая эволюция

Компания Шэньян Звездный свет, основанная в 1995 году как совместное китайско-германское предприятие, изначально специализировалась на производстве компонентов для промышленных печей, заслужив признание как национальное высокотехнологичное предприятие и экспортируя свою продукцию более чем в 20 стран. С полупроводниковымкарбид кремнияОжидается, что к 2028 году рынок превысит 10 миллиардов долларов. В 2019 году компания начала диверсификацию, создав подразделение передовых материалов, ориентированное на производство высокочистых материалов.карбид кремнияконструктивные детали для полупроводникового оборудования.

«Наши изменения соответствуют стремлению Китая к самообеспечению полупроводниковой промышленностью», — заявил генеральный директор г-н Син.карбид кремния«Термическая стабильность и чистота делают его незаменимым для систем травления, осаждения и обработки пластин».

Технологические прорывы, движущие переход

1. Инновации в области сверхчистых материалов

Теперь компания производит продукцию чистотой 4N+ (99,99%).карбид кремнияпорошки с помощью запатентованных процессов очистки, устраняющих металлические примеси, критически важные для чувствительных к загрязнениям полупроводниковых процессов.

Многоэтапное спекание (реакционно-связанное, рекристаллизованное и горячее прессование) обеспечивает плотность ссшшш3.1 г/см³, что соответствует спецификациям ASML и ТЕЛ. по совместимости с вакуумом.

2. Возможности точного производства

Передовые методы формования, включая изостатическое прессование и 3D-печать, позволяют создавать изделия сложной геометрии, например, с помощью роботов для перемещения пластин и облицовки камер методом химического осаждения из газовой фазы с допуском ±0,01 мм.

Запатентованная лазерная обработка снижает подповерхностные повреждения на 60% по сравнению с обычной шлифовкой, что имеет решающее значение для шероховатости поверхности <1 нм на этапах литографии.

3. Межотраслевая синергия

Опираясь на многолетний опыт исследований и разработок в области компонентов печей, компания адаптировала конструкции, устойчивые к тепловым ударам (первоначально для спекания керамики при температуре 1600 °C), к системам быстрой термической обработки (РТП) полупроводников, добившись на 30 % более длительного срока службы по сравнению с кварцевыми аналогами.

Портфель полупроводниковой продукции

Носители пластин: перекристаллизованныекарбид кремнияподдоны для высокотемпературных диффузионных печей, снижающие образование частиц на 50% по сравнению с глиноземом.

Вакуумные патроны: с низким газовыделениемкарбид кремнияэлектростатические зажимные приспособления со встроенными каналами охлаждения для систем ЭУВ-литографии.

Плазмостойкие компоненты: с нитридной связьюкарбид кремниящитки для травильных инструментов, проверенные в ходе более чем 500-часовых испытаний на воздействие коррозионной плазмы.

Совместное создание экосистемы

1. Академическое партнерство: совместная разработка технологий на основе квантовых точеккарбид кремнияпокрытия совместно с Шэньянским университетом для минимизации прилипания пластин в условиях высокого вакуума.

2. Отраслевые альянсы: в 2024 году присоединился к консорциуму полупроводниковых материалов Ляонин,карбид кремниястандарты обработки с СМИК и Наура.

3. Глобальная сертификация: получено соответствие стандарту ПОЛУ S2 во втором квартале 2025 года, что открывает путь для получения разрешений на литейное производство уровня Уровень 1.

Проблемы и планы на будущее

В то время как традиционная продукция, выпускаемая в печах, по-прежнему обеспечивает 65% выручки, подразделение полупроводников планирует ежегодно увеличивать свой рост на 40% за счет:

Расширение мощностей: удвоение линий изостатического прессования к третьему кварталу 2026 года для удовлетворения спроса на 8-дюймовые пластины.

Контроль качества на основе искусственного интеллекта: внедрение машинного зрения для обнаружения дефектов в реальном времени во время обработки на станках с ЧПУ.

Циклическая экономика: переработка 95% шлифовального шлама с помощью запатентованных систем фильтрации, что соответствует целям ESG.

«Наш 30-летний путь отражает эволюцию производства в Китае», — отметил технический директор Чжан Вэй. «От стеллажей для обжига до заводов по производству микросхем мы пишемкарбид кремнияСледующая глава — по одному атомному слою за раз».