Введение из Носитель пластины из карбида кремния:

Преимущества носителей лодочек из карбида кремния в производстве полупроводников‌

В быстро развивающихся полупроводниковых и фотоэлектрических отраслях промышленности инновации в области материалов играют ключевую роль в повышении эффективности процесса и производительности продукта. Среди критических компонентов носители лодочек из карбида кремния, также известные как пластинчатые лодочки или кассеты, стали превосходной альтернативой традиционным кварцевым или графитовым носителям. Обладая исключительными термическими, механическими и химическими свойствами, носители лодочек из карбида кремния обеспечивают непревзойденную надежность и долговечность в высокотемпературных процессах изготовления полупроводников. Ниже мы рассмотрим основные преимущества носителей лодочек из карбида кремния и их преобразующее влияние на современное производство.

Основная особенность держателя лодочки из карбида кремния:

‌1. Превосходная термическая стабильность и проводимость‌

Сверхвысокая теплопроводность карбида кремния (120-270 Вт/м·К) и низкий коэффициент теплового расширения обеспечивают минимальное тепловое напряжение даже при резких колебаниях температуры. В отличие от кварцевых носителей, которые склонны к деформации или растрескиванию при температурах выше 1200°C, носители SiC-лодочки сохраняют структурную целостность при температурах выше 1600°C. Это делает их идеальными для критических процессов, таких как химическое осаждение из паровой фазы (ССЗ), эпитаксиальный рост и диффузия, где необходим точный контроль температуры. Устойчивость материала к тепловому удару также сокращает время простоя, вызванное отказом носителя, что повышает производительность производства.

‌2. Повышенная механическая прочность‌

Собственная твердость SiC (9,2-9,5 по шкале Мооса) и прочность на изгиб (350-600 МПа) намного превосходят аналогичные показатели кварца или графита. Эта механическая прочность приводит к уменьшению образования частиц и поломок во время обработки пластин, сводя к минимуму риски загрязнения. Производители полупроводников получают выгоду от более длительного срока службы носителей — до 10 раз дольше, чем у кварцевых альтернатив, — что приводит к снижению затрат на замену и повышению окупаемости инвестиций (Рентабельность инвестиций).

Аксессуары для лодочек из карбида кремния имеют стабильную структуру, хорошую термостойкость материалов и не деформируются при использовании при высокой температуре. Детали лодочек из карбида кремния имеют длительный срок службы. Держатель лодочек из карбида кремния эффективно решает проблему высоких фотоэлектрических элементов. Проблема потери несущих компонентов под нагрузкой.

Область применения держателя пластины из карбида кремния:

Аксессуары для пластин из карбида кремния подходят для основных несущих компонентов оборудования для диффузионного процесса фотоэлектрических ячеек.

О нас:

Расположенная в важной промышленной и передовой базе производства оборудования Китая - Шэньян, провинция Ляонин, Шэньян Звездный свет Передовой Керамика Ко., ООО., является первоклассным проектированием, инновациями в области НИОКР, стабильным качеством, огромными мощностями ведущих мировых предприятий по производству нового сырья и продукции SiC, продукция экспортируется в более чем 20 стран и регионов за рубежом. На протяжении многих лет компания придерживается целостности философии бизнеса, чтобы предоставлять клиентам услуги самого высокого качества.