Компания Шэньян Звездный свет Передовой Керамика достигла рубежа в производстве полупроводников, выпустив прецизионные подводящие трубки с внешним диаметром 451 мм для обработки 12-дюймовых пластин

Компания Шэньян Звездный свет Передовой Керамика Ко., ООО., пионер в производстве карбида кремния с более чем тридцатилетним опытом, недавно достигла значительного прорыва, успешно поставив специализированные лайнерные трубки с внешним диаметром 451 мм для 12-дюймовых процессов изготовления полупроводниковых пластин. Это достижение подчеркивает лидерство компании в продвижении критически важных керамических компонентов для мировой полупроводниковой промышленности. Недавно разработанные лайнерные трубки, специально разработанные для высокотемпературной обработки пластин, имеют оптимизированный внешний диаметр фланца 451 мм, спроектированный для соответствия строгим требованиям современного оборудования для производства полупроводников. Используя сверхчистый карбид кремния (≥99,999%) с исключительной термической стабильностью (рабочий диапазон: от окружающей среды до 1450 °C), этитрубы лайнера Компоненты обеспечивают минимальное тепловое расширение (коэффициент 4,0×10⁻⁶/K) и превосходную устойчивость к коррозионным технологическим газам, что обеспечивает постоянную производительность в процессах окисления, диффузии и химического осаждения из паровой фазы (ССЗ). Прецизионная конструкция трубок лайнера гарантирует допуски размеров в пределах ±0,05 мм и шероховатость поверхности ниже Ра 0,1 мкм, что критически важно для поддержания целостности пластины и снижения рисков загрязнения частицами в чистых помещениях.

The трубы лайнераПроцесс разработки включал 18 месяцев тесного сотрудничества в области НИОКР с ведущими производителями полупроводников, включая расширенный анализ конечных элементов (ФЭА) для оптимизации динамики газового потока и тепловой однородности по внутреннему диаметру 300 мм. Более 500 испытаний на термоциклирование подтвердилитрубы лайнера' прочность при резких колебаниях температуры, в то время как запатентованные технологии спекания обеспечиваюттрубы лайнера структурная целостность при экстремальных температурах. Производство осуществляется в чистых помещениях класса ИСО 5, при этом каждая единица проходит комплексную проверку трубы лайнераПроверки качества, включая проверку на утечку гелия, анализ остаточного газа (РГА) и метрологическую проверку с использованием лазерных сканеров и координатно-измерительных машин (КИМ). Первопроходцы в производстве усовершенствованных логических и запоминающих микросхем сообщили о сокращении времени простоя печи на 35% и улучшении выхода годных пластин на 20% по сравнению с традиционными кварцевыми вкладышами, что объясняется химической инертностью материала и снижением требований к обслуживанию.

Этот трубы лайнераИнновации направлены на растущий спрос полупроводниковой промышленности на более крупные размеры пластин и более высокую стабильность процесса, особенно по мере перехода производителей на узлы размером менее 5 нм. Конструкция с внешним диаметром 451 мм обеспечивает бесшовную интеграцию с вертикальными печами следующего поколения, в то время как сверхнизкие уровни металлических примесей материала (<0,1 ppb) предотвращают загрязнение легирующими примесями в чувствительных процессах. Помимо текущих приложений, Shenyang Starlight активно разрабатывает интеллектуальныетрубы лайнерапрототипы со встроенными датчиками для мониторинга температуры в реальном времени и адаптивными системами терморегулирования, совместимыми с производственными экосистемами Индустрии 4.0.

Имея 30-летнюю историю и более 2000 успешных партнерских отношений с клиентами, компания Шэньян Звездный свет продолжает внедрять инновации в области высокопроизводительной керамики, сочетая передовые достижения в области материаловедения с точной инженерией для решения самых сложных задач полупроводниковой промышленности.